Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие зондовые Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN, ГРСИ 28666-10
Номер госреестра:
28666-10
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие зондовые
Обозначение типа:
Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-EC, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
Производитель:
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
07.05.2020
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 39741
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие зондовые Solver HV, Solver HV-MFM, Solver
SNOM, Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver
PRO-ЕС, Solver MFM, Solver BIO-M, Solver OPEN
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие зондовые Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM,
Smena, Solver PRO, Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-ЕС, Solver MFM,
Solver BIO-M, Solver OPEN (далее C3M Solver) предназначены для измерений трехмерной
топологии и параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным
разрешением.
Описание средства измерений
СЗМSolverпредставляютсобойстационарныеавтоматизированные
многофункциональные измерительные системы.
СЗМ Solver обеспечивает работу как в режиме сканирующего туннельного микроскопа
(СТМ), так и атомно-силового микроскопа (ACM) с использованием различных методик
зондовой микроскопии.
Принцип действия СТМ основан на квантовом эффекте туннелирования электронов
через узкий потенциальный барьер между исследуемой проводящей поверхностью образца и
остриеммикрозонда.Детектируятуннельныйток,протекающийприпостоянном
электрическом смещении между микрозондом и образцом, получают информацию о
топографии проводящей поверхности в атомном масштабе. ACM реализует принцип
измерений силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности,
как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи
постояннойсилувзаимодействия междумикрозондомиповерхностьюобразца,
регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное
изображение топографии поверхности.
В состав СЗМ входит набор измерительных СЗМ головок, электронный блок и
управляющий персональный компьютер.
В качестве зонда в ACM используется чувствительный элемент - кантилевер, который
представляет собой кремниевый монокристалл, на котором сформирована балочная
структура с острием в виде микроиглы. В СТМ в качестве зонда используется металлическая
игла из платиновых сплавов.
Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью заменяемых
пьезосканеров. Конструкция блока подвода и сканирования СЗМ Solver обеспечивает ручной
и автоматический подвод образца к зонду; установку АСМ/СТМ головок на блок подвода без
дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки сканера и
держателя образца.
Приборы позволяют проводить сканирование как зондом или образцом, так и
комбинированно, на воздухе, в газовой и жидкой средах. Конструктивно СЗМ Solver
выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По
заказамприборыоснащаютсяширокимнаборомдополнительныхустройстви
принадлежностей.
Внешний вид C3M Solver представлен на рисунке 1.
Лист № 2
Всего листов 6
Рисунок 1 - Внешний вид C3M Solver.
Таблица 1 Общие методические возможности СЗМ семейства Solver
Методики
сканирующей
ближнепольной
оптической
микроскопии
при
Методики
СТМ/АСМ
Измерения
атмосферном
в вакууме
давлении
Измерения,
связанные с Измерения в
нагреванием жидкой фазе
образца
М
СТМ ACM
--
--
--
- +
+ +
+ +
- -
SOLVER HV
СБО
-
М
SOLVER HV-MFM
-
SOLVER SNOM +
ИГ SMENA
-
SOLVER PRO +
SOLVER PRO-M +
SOLVER FD
-
SOLVER P47-PRO +
SOLVER P47H-PRO +
SOLVER PRO-EC
-
SOLVER MFM
-
SOLVER BIO-M
-
SOLVER OPEN -
СТМ ACM
СТ
ACM СТМ ACM
+ + + + + +
+ + + + + +
-
+
- - - --
+
-
- -
-+ +
- -
+ + + +
- -
+ + -
+
- - - -+ +
-
-
+ + + +
-
-
+ + + +
-
-
+ + -
+
-
- - --
+
- -
-
+
-
+
-
-
- +
++
++
++
-
+
-
+
-
+
Лист № 3
Всего листов 6
Программное обеспечение
Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого
компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от СЗМ
контроллера поступают в измерительную головку. Управление СЗМ-контроллером
осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством
специальной PCI-платы или интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения
осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами
работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.
Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов представлены в
таблице 2.
Таблица 2
Идентификационные данныеЗначение
Идентификационное наименование ПО Программное обеспечение для СЗМ
Номер версии (идентификационный номер) ПО не ниже 1.1.0.1824
Цифровой идентификатор ПОfabb032420d4483e9b2843ffc96425321e45cee8
Алгоритм вычисления идентификатора ПОSha1
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений согласно Р 50.2.077-2014 соответствует высокому уровню.
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 3.
Таблица 3
Параметр
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY не менее, мкм
Значение
0-90*
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z не менее, мкм
0-10*
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных
размеров в плоскости XY не более, %
±1
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных
размеров по оси Z не более, %
±5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических
размеров в режиме компаратора (при номинальных размерах более 10 нм), нм
±(1+0,001L)
Угол между осями сканирования X и Y, градус
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус
Нелинейность сканирования в плоскости XY не более, %
Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более, нм
Разрешение в плоскости XY не более, нм
Разрешение по оси Z не более, нм
Дрейф в плоскости XY не более, нм/с
Дрейф по оси Z не более, нм/с
Максимальное число точек сканирования по X и Y
90,0±1,5
5
0,5
100
0,15
0,1
0,2
0,15
4000x4000
Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина) не более, мм
Напряжение питания переменного тока, В
100 х 20
110/220
(+10/-15%)
Потребляемая мощность не более, Вт
120
Лист № 4
Всего листов 6
Габаритные размеры электронного блока не более, мм
445x160x500
Габаритные размеры СЗМ не более, мм
Масса не более, кг
240x345x280
44
*Метрологические характеристики указаны для СЗМ семейства Solver с измерительной
головкой типа «СМЕНА». При использовании других измерительных головок и сканеров из
комплекта СЗМ семейства Solver показатели точности измерений метрологически не
нормируются. Соотношение между техническими возможностями различных типов
измерительных головок и сканеров представлены таблице 4 и 5.
Таблица 4. Микроскопы снабженные сканерами с емкостными датчиками перемещения
ИГ типа
«Смена»
Технические характеристики
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
Угол между осями сканирования X и Y, градус
Угол между осью Z и нормалью к плоскости XY не более, градус
Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %
Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм
100±10
10±1
90,0±1,5
5,0
0,5
100
ИГтипа
«СНОМ»
100il0
10±1
90,0±1,5
5,0
0,5
400
Таблица 5. Микроскопы снабженные сканерами без емкостных датчиков перемещения
ИГтипа
Технические характеристики
Нижние сканеры
«Смена»
1 мкм
1,0±0,1
3 мкм
3,0±0,3
10 мкм
10,0±1,0
100 мкм
100±10
100 мкм
100±10
1.1
1.5
2
3.5
3.5
-
90,0±2,0
90,0±2,0
90,0±2,0
90,0±2,0
Диапазон измерений линейных
размеров в плоскости XY, мкм
Диапазон измерений линейных
размеров по оси Z не менее, мкм
Угол между осями сканирования X и
Y,градус
Угол между осью Z и нормалью к
плоскости XY не более, градус
-
5,0
5,0
5,0
5,0
-
1,0
1,0
1,0
1,0
Величина нелинейности сканирования
в плоскости XY не более, %
Величина неплоскостности
сканирования по XY не более, нм
-
20
20
200
200
Знак утверждения типа
наносится на лист № 3 руководства по эксплуатации типографским способом и корпус
прибора методом наклейки.
Комплектность средства измерений
определяется заказом и отражается в спецификации. Основной комплект поставки в
соответствии с таблицей 6.:
Лист № 5
Всего листов 6
Таблица 6
№
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
Наименование
Заменяемый сканер X,Y, Z (1 х 1 х 1мкм (±10%)).
Заменяемый сканер X,Y, Z(10xl0х2.0 мкм (±10%)).
Заменяемый сканер X,Y, Z (100 х 100 х 5.0 мкм (±10%)).
Универсальная ACM головка (сканирование образцом).
Универсальная сканирующая СЗМ головка СМЕНА (100 х 100 х 100 мкм (±10%)).
СТМ головка с диапазоном токов 30пА-50нА (сканирование образцом).
Юстировочный столик для резонансных методик ACM с возможностью измерять ток в
системе зонд-образец.
Юстировочный столик для резонансных методик ACM с возможностью подавать
постоянное и переменное напряжение на проводящий кантилевер для работы в
динамических режимах измерения емкости.
Базовый блок Solver Pro. Содержит систему моторизованного подвода, штуцер ввода
воздуха/газа для работы в контролируемой атмосфере, разъемы термостолика и
напряжения смещения, зеркало для видеосистемы. Ручной перемещатель по X, Y.
Защитный колпак.
Электронный блок управления (СЗМ контроллер).
PCI плата сопряжения электронного блока с персональным компьютером и
интерфейсный кабель.
Программное обеспечение для получения и обработки изображений.
Набор кантилеверов.
Рабочие принадлежности для СЗМ.
Дополнительное оборудование, поставляемое по отдельному заказу (Таблица 7).
Таблица 7
№Наименование
1
Сканирующая СЗМ головка СМЕНА с емкостными датчиками перемещения.
2Сканирующая СЗМ головка СМЕНА для работы в жидкости.
3
Универсальная сканирующая СЗМ головка СМЕНА для исследования магнитных
материалов (100 * 100 х 10.0 мкм (±10%)).
4СТМ головка с диапазоном токов ЗпА-5нА (сканирование образцом).
5
Юстировочный столик с открытой/закрытой жидкостной ячейкой для ACM измерений
в методах контактной или полуконтактной ACM.
6
Де
ржатель образ
ц
а с
п
латформой
н
агр
е
в
а
ния (до 150 °С) и да
т
чиком
те
мпер
ату
ры. 7Оптический
микроскоп с непрерывной ручной регулировкой.
8Штатив для оптического микроскопа.
9Набор поверенных мер нанометрового диапазона.
10
Компьютер и монитор.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 28666-10 «Микроскопы сканирующие
зондовые семейств Solver и Ntegra. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС»
19 мая 2010 г с изменением № 1, утвержденным 19.03.2015 г.
Основные средства поверки:
• мера периода и высоты линейная TGQ1 (ГР№ 41680-09);
• мера периода и высоты линейная TGZ3 (ГР № 41678-09);
• мера периода линейно-угловая TGG1 (ГР№ 41677-09).
Лист № 6
Всего листов 6
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим зондовым Solver HV, Solver HV-MFM, Solver SNOM, Smena, Solver PRO,
Solver PRO-M, Solver FD, Solver P47-PRO, Solver PRO-ЕС, Solver MFM, Solver BIO-M,
Solver OPEN:
Технические условия ТУ 4254-003-58699387-20-10.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов
обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о
техническом регулировании.
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Адрес: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail:
, Телефон: 499-735-03-05,
Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального агентства
по техническому регулированию и метрологииС.С. Голубев
«____» ____________ 2015 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 55155-13 | Калориметры дифференциальные сканирующие | DSC PT10, DSC PT1600, DTA PT1600 | Фирма "Linseis Messgerate GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 35696-07 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 150х75(2),А | АО "Новосибирский приборостроительный завод", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
| 61873-15 | Виброметры сканирующие | PSV-500 | Фирма "Polytec GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 32060-15 | Микроскопы измерительные | 176 | Фирма "Mitutoyo Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 39844-08 | Микроскопы видеоизмерительные | MM320 | Фирма "Mahr Multisensor GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений