Untitled document
Приложение к свидетельству № 31047/1
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Газоанализаторы THERMOX модели CG1000
Назначение средства измерений
Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 предназначены для непрерывного измерения
объемной доли кислорода в анализируемой газовой смеси.
Описание средства измерений
Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 (далее - газоанализаторы) представляют собой
переносные одноканальные автоматические измерительные приборы непрерывного действия.
Газоанализаторы выпускаются в двух исполнениях: CG1000 (базовое) и CG1000-RTP (для
применения в процессах Rapid Thermal Processing (RTP) в производстве полупроводниковых чи-
пов и микросхем). Газоанализатор исполнения CG1000-RTP имеет встроенную систему пробоот-
бора, разработанную с учетом требований процессов RTP.
В основу принципа действия газоанализаторов положен электрохимический метод с исполь-
зованием циркониевого чувствительного элемента.
Газоанализатор имеет в своем составе микропроцессор, который управляет всеми режимами
работы и преобразует выходной сигнал чувствительного элемента в показания в единицах измере-
ний.
Результаты измерений, а также сообщения о параметрах функционирования внутренних бло-
ков газоанализатора (расход анализируемой газовой смеси, температура в измерительной ячейке,
ЭДС термопары или напряжение на чувствительном элементе), о наличии неисправностей и о сра-
батывании пороговых устройств отображаются на многофункциональном жидкокристаллическом
дисплее.
На лицевой панели расположена клавиатура для управления работой прибора.
Способ отбора пробы – принудительный, с помощью встроенного побудителя расхода (по-
ставляется по дополнительному заказу), с помощью внешнего побудителя расхода или за счет из-
быточного давления в точке отбора пробы. Электронный первичный преобразователь расхода по-
зволяет контролировать расход анализируемой смеси.
Газоанализатор имеет цифровой канал передачи данных RS-485 и два унифицированных то-
ковых выхода, предназначенных для дистанционной передачи информации о результатах объем-
ной доли кислорода в анализируемой смеси, температуре в измерительной ячейке, ЭДС термопа-ры
или напряжения на чувствительном элементе (по выбору потребителя).
Газоанализатор обеспечивает выдачу выходного унифицированного аналогового сигнала (0-
20) мА или (4-20) мА.
Газоанализатор имеет две цепи сигнализации, каждая из которых может быть запрограм-
мирована на срабатывание при достижении порогового значения содержания кислорода или рас-
хода анализируемой смеси.
Газоанализатор выполнен в общепромышленном исполнении и предназначен для эксплуа-
тации в невзрывоопасных зонах помещений и наружных установок в защитном шкафу.
По защищенности от проникновения внешних твердых предметов и воды газоанализаторы
соответствуют степени защиты по ГОСТ 14254-96 не ниже IP30.
Внешний вид газоанализаторов приведен на рисунках 1 и 2.
Лист № 2
Всего листов 6
Рисунок 1 – Газоанализатор THERMOX модели CG1000 (базовое исполнение)
Рисунок 2 – Газоанализатор THERMOX модели CG1000-RTP
Лист № 3
Всего листов 6
Программное обеспечение
Газоанализаторы имеют встроенное программное обеспечение, разработанное изготовите-
лем специально для решения задач измерения объемной доли кислорода.
Встроенное программное обеспечение обеспечивает следующие основные функции:
- обработку и передачу измерительной информации от первичного измерительного преоб-
разователя (электрохимического сенсора);
- отображение результатов измерений на дисплее (при наличии);
- формирование выходного аналогового сигнала;
- формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);
- самодиагностику аппаратной части газоанализатора;
- настройку нулевых показаний и чувствительности.
ПО газоанализатора реализует следующие расчетные алгоритмы:
1) вычисление значений объемной доли кислорода по данным от первичного измерительно-
го преобразователя;
2) вычисление значений выходного аналогового сигнала (в зависимости от модели);
3) формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);
4) непрерывную самодиагностику аппаратной части газоанализатора.
Встроенное программное обеспечение газоанализаторов идентифицируется путем отобра-
жения номера версии на дисплее при включении электрического питания.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
CG1000.bin
V2.13
MD5
Наименование
программного
обеспечения
Номер версии
программного
обеспечения
Алгоритм вычис-
ления
программного
обеспечения
Идентификаци-
онное наимено-
вание про-
граммного
обеспечения
Thermox
CG1000
Цифровой идентифи-
катор программного
обеспечения
(контрольная сумма
исполняемого кода)
E69B88589B3BE86753
2B65C9B3E452FF
Примечание – номер версии ПО должен быть не ниже указанной в таблице. Значение контроль-
ной суммы, указанное в таблице, относится только к файлу ПО соответствующей версии.
Влияние встроенного программного обеспечения учтено при нормировании метрологиче-
ских характеристик газоанализаторов.
Газоанализаторы имеют защиту встроенного программного обеспечения от преднамеренных
или непреднамеренных изменений. Уровень защиты соответствует уровню "А" по МИ 3286-2010
Метрологические и технические характеристики
1) Диапазоны показаний и измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой ос-
новной погрешности газоанализатора приведены в таблице 2.
Таблица 2
Св. 0,5 до 100 %
Диапазон показанийДиапазон измеренийПределы допускаемой основной
объемной доли объемной доли кисло- погрешности
кислородародаприведенной, %относительной, %
От 0 до 5 млн
-1
± 10 -
От 0 до 5000 млн
-1
Св. 5 до 50 млн
-1
±
10-
Св. 50 до 5000 млн
-1
-
±
10
Св. 0,5 до 2,5 %
±
2-
Св. 2,5 до 100 % -
±
2
2) Пределы допускаемой вариации выходного сигнала газоанализатора,
в долях от пределов допускаемой основной погрешности0,5
Лист № 4
Всего листов 6
15
3) Номинальное время установления показаний Т
0,9ном
(при расходе
анализируемой газовой смеси 150 см
3
/мин), с
4) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализато-
ра от изменения температуры окружающей среды на каждые 10
o
C в диапа-
0,2
0,2
30
90
60
зоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой ос-
новной погрешности
5) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализато-
ра от изменения атмосферного давления на каждые 3,3 кПа в диапазоне ра-
бочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной
погрешности
6) Предел времени работы газоанализатора без корректировки показа-
ний, суток, не более:
- в диапазоне измерений объемной доли кислорода от 0 до 50 млн
-1
- вдиапазонахизмеренийобъемнойдоликислорода
св. 50 до 5000 млн
-1
, св. 0,5 до 2,5 % и св. 2,5 до 100 %
7) Время прогрева, не более, мин
8) Габаритные размеры, не более, мм:
высота
ширина
длина
9) Масса, не более, кг
270
202
408
13,5
10) Напряжение питания переменного тока частотой 50 Гц или 60 Гц, В
+
22
220
-
33
11) Потребляемая мощность, не более, ВА:
без встроенного насоса
с встроенным насосом
12) Срок службы газоанализатора, не менее, лет
80
150
8
Условия эксплуатации
от минус 18 до 50
от минус 20 до 40
от 5 до 40
от 84 до 106,7
80
70
от 50 до 200
от 3,8 до 138
от минус 2,5 до 138
от 80 до 108
- диапазон температуры окружающей среды,
0
С:
CG1000 без встроенного насоса
CG1000 с встроенным насосом
CG1000-RTP
- диапазон атмосферного давления, кПа
- относительная влажность окружающего воздуха при 35
о
С, %, не более
- температура анализируемой газовой смеси, не более,
0
С
- диапазон объемного расхода анализируемой газовой смеси, см
3
/мин
-1
-
диапазон избыточного давления анализируемой газовой смеси, кПа:
CG1000 без встроенного насоса
CG1000 с встроенным насосом
CG1000-RTP
- объемная доля неизмеряемых компонентов, не более, %:
диоксид углерода (СО
2
)
пары воды (Н
2
О)
15
20
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на газоанализатор в виде голографи-
ческой наклейки.
Лист № 5
Всего листов 6
Комплектность средства измерений
Комплект поставки газоанализатора приведен в таблице 3.
Таблица 3
Обозначение
CG1000 или
CG1000-RTP
Наименование
Газоанализатор THERMOX модели CG1000
Количество
1 шт.
МП-242-0633-2008
P/N 72611KE
P/N 72691SE
P/N 70083SE
P/N 72821SE
P/N 72765SE
P/N 80464SE
P/N 90219VE / 90253VE
Комплект запасных частей
Шнур питания
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Кювета (кислородная ячейка)
Термопара
Нагреватель
Насос
Трансформатор
Объединительная плата
Дисплей/клавиатура
1 компл.
1 шт.
1 экз.
1 экз
по заказу
-/-
-/-
-/-
-/-
-/-
-/-
Поверка
осуществляется по документу МП-242-0633-2008 "Газоанализаторы THERMOX модели CG1000.
Методика поверки", разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менде-
леева" "14" января 2008 г., с изменением № 1 от 16.07.2013 г.
Основные средства поверки:
- стандартные образцы состава газовые смеси кислород – азот (ГСО 5845-91, 9121-2008,
9122-2008, 3713-87, 3715-87, 3716-87, 3721-87, 3722-87, 3732-87) в баллонах под давлением, вы-
пускаемые по ТУ 6-16-2956-92;
- генератор кислорода ГК-500 по ИБЯЛ.418319.033 ТУ, диапазон воспроизводимых значе-
ний объемной доли кислорода от 0,1 до 500 млн
-1
, пределы допускаемой относительной погреш-
ности (10 ÷ 2) %.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений приведена в документе «Газоанализаторы THERMOX модели
CG1000. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к газоанализаторам
THERMOX модели CG1000
1 ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические
условия.
2 ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зо-
ны.
3 ГОСТ 8.578-2008 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содер-
жания компонентов в газовых средах.
4 Техническая документация фирмы «AMETEK Process Instruments», США.
Лист № 6
Всего листов 6
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспече-
ния единства измерений
при осуществлении производственного контроля за соблюдением установленных законодательст-
вом Российской Федерации требований промышленной безопасности к эксплуатации опасного
производственного объекта.
при выполнении работ по обеспечению безопасных условий и охраны труда.
Изготовитель
Фирма «AMETEK Process & Analytical Instruments Division»,
Адрес: USA, 150 Freeport Road, Pittsburgh, PA 15238.
Заявитель
Фирма «Artvik, Inc.»
Адрес: USA, 40 West 37th Street, Suite 803, New York, NY 10018
Головное отделение фирмы «Artvik, Inc.», США
в странах СНГ и Балтии – ООО «АРТВИК Р»
Адрес: 125315, Россия, Москва, ул. Часовая, 30, тел. (495) 956-70-79
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»,
Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19, тел.: (812) 251-76-01,
факс: (812) 713-01-14, e-mail:
,
,
Аттестат аккредитации ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испыта-
ний средств измерений в целях утверждения типа № 30001-10 от 20.12.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«____»____________________ 2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.