Заказать поверку
Профилометры оптические S Neox
ГРСИ 81550-21

Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Заказать
поверку данных СИ
в аккредитованной лаборатории
Заказать
поверку
Профилометры оптические S Neox, ГРСИ 81550-21
Номер госреестра:
81550-21
Наименование СИ:
Профилометры оптические
Обозначение типа:
S Neox
Производитель:
Sensofar-Tech, SL, Испания
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
12.04.2026
Описание типа:
Методика поверки:
Поверка<br>Аккредитованная лаборатория<br>8(812)209-15-19, info@saprd.ru
Поверка<br>Аккредитованная лаборатория<br>8(812)209-15-19, info@saprd.ru
Поверка<br>Аккредитованная лаборатория<br>8(812)209-15-19, info@saprd.ru Поверка
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
Описание типа средства измерения:
Читать в отдельном окне
Untitled document
УТВЕРЖДЕНО
приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от «12» апреля 2021 г. №503
Лист № 1
Регистрационный № 81550-21Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометры оптические S Neox
Назначение средства измерений
Профилометры оптические S Neox (далее профилометры) предназначены для
измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Описание средства измерений
Профилометры оптические S Neox относятся к классу бесконтактных оптических
приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокальной
плоскости освещения.
Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации
интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод
позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 200 мкм. Положение реперного
зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была
равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех
длинволн,инаблюдаетсяабсолютныймаксимуминтенсивности,регистрируемый
видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный
максимум, она находится в фокусе.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения
апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при
нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе.
Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света,
конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки,
расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена
награнитномилиметаллическомосновании,оснащенномантивибрационными
пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке
располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка,
объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера и
микродисплей, выполняющийфункцию источника проецируемого изображениядля
осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен автоматический
предметный столик с механической регулировкой угла наклона в двух плоскостях. В состав
профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки
видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сигналов.
Профилометры имеют 4 LED источника света: красный (630 нм), зеленый (530 нм), синий (460
нм) и белый (575 нм).
Измерения проводятся втрехмернойсистемекоординат.Привертикальном
сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности
полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности
света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение
максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма
поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при
перемещении объектива по вертикали.
Лист № 2
Всего листов 5
Опломбирование систем от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак
поверки наносится на свидетельство о поверке.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SensoSCAN» является специализированным ПО
профилометровипредназначенодляуправлениямеханическимичастями,для
непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных
изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном
направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать
параметры шероховатости .
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и
измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные
достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений «средний» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в
таблице 1.
Рисунок 1 – Общий вид профилометра S Neox.
Лист № 3
Всего листов 5
Идентификационные данные (признаки)
7.1
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Значение
SensoSCAN
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер)
ПО, не ниже
Цифровой идентификатор ПО
-
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 – Метрологические характеристики профилометров
Значение
0,5
±8
Наименование характеристики
характеристики
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм от 0,001 до 50
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений ±(0,01+0,05∙h),
шероховатости по параметру Ra, мкм* где h –измеряемый
параметр в мкм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкмот 0 до 200
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных ±(0,05+0,05∙h),
размеров (ось Z), мкм* где h –измеряемый
параметр в мкм
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты
ступени, % *,**
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива:
2,5хот 5,16 до 7000
от 2,58 до 3500
10хот 1,29 до 1750
20х от 0,65 до 870
50х от 0,26 до 350
100х от 0,13 до 170
150х от 0.09 до 110
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива:
2,5хот 5,16 до 5280
от 2,58 до 2640
10хот 1,29 до 1320
20х от 0,65 до 660
50х от 0,26 до 260
100х от 0,13 до 130
150х от 0.09 до 88
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных
размеров в плоскости XY, %
* - при температуре окружающего воздуха от плюс 18 до плюс 22 ºС и относительной
влажности воздуха не trial 80%
** - номинальное значение высоты 10 мкм.
Лист № 4
Всего листов 5
0,1
90
600×600
350
600×600×350
Таблица 3 – Технические характеристики профилометров
Максимальное разрешение по оси Z, нм
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, Y) и
сенсорной головки (ось Z), мм:
по оси Х, Y
по оси Z
Максимальный размер измеряемого образца (ширина×длина×высота), мм,
не более
Габаритные размеры (ширина×высота×глубина), мм, не более
Масса без упаковки, кг, не более
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
600×610×740
92
220 ± 22
210
Значение
Таблица 4 – Условия эксплуатации
Наименование характеристики
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
С
- относительная влажность воздуха, %, не более
от +10 до +35
80
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКол-во
Профилометры оптические S Neox - 1 шт.
Руководство по эксплуатации - 1 экз.
Методика поверки МП 203-62-2020 1 экз.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в главах № 3, № 4 руководства по эксплуатации.
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
профилометрам оптическим S Neox
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от
06.11.2019 г. 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств
измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в
диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»
Техническая документация изготовителя
Лист № 5
Всего листов 5
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
Похожие средства измерения:
ГРСИ Наименование СИ Тип СИ Производитель МПИ Ссылка
28357-04 Аттенюаторы оптические FVA-60B мод. FVA-60B-B-EI Фирма "EXFO Electro-Optical Engineering Inc.", Канада 1 год Перейти
21979-01 Спиртомеры оптические ИКОНЭТ-МП-1 ОАО "Арзамасский приборостроительный завод", г.Арзамас 1 год Перейти
32093-06 Тестеры оптические с ваттметрами, источниками, аттенюаторами Smart 55 (тестеры), OLP-55 (ваттметры), OLS-55/56 (источники), OLA-54/55 (аттенюаторы) Компания "JDSU Deutschland GmbH", (JDSU), Германия 1 год Перейти
47827-11 Спектрометры оптические эмиссионные FOUNDRY-MASTER мод. XPR, UVR, LAB, VIS Фирма "Oxford Instruments Analytical GmbH", Германия 1 год Перейти
16507-97 Рефлектометры оптические 8147 Фирма "Hewlett Packard", Германия 1,5 года Перейти
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru


Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru


Поверка средств измерений